產品詳細介紹: 電化學加工(宏微二級驅動)工作臺主要應用于電化學加工方面,具有X-Y-Z方向三維宏動和X-Y-Z方向三維微動。宏動平臺采用步進電機結合高品質滾珠絲桿。微動平臺由三臺壓電陶瓷致動器驅動的一維納米級精密定位工作臺MPT-1JRL003通過連接板組合而成。 在驅動中,首先采用步進電機驅動的大行程、低分辨率的機構進行粗定位,實現(xiàn)大行程范圍內快速地微米級定位精度,然后采用壓電陶瓷驅動小行程、高分辨率的微動工作臺在微米級行程范圍實現(xiàn)對粗定位平臺的納米級誤差補償。 |
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加入時間:2010-06-07
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