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產(chǎn)品型號(hào):500*500
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價(jià)格:11999
計(jì)量單位:臺(tái)
折 扣 率: 0
最后更新:2014-07-02
關(guān) 注 度:3008
生產(chǎn)企業(yè):北京微納通科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹ABL9000氣浮平臺(tái) 1世上最高性能的氣浮平臺(tái),適用于晶片,平板顯示,光學(xué)檢測(cè)和加工等要求苛刻的場(chǎng)合 2所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 3行程達(dá)1.2米X1.2米 4Y軸雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng) 5直線編碼器或激光干涉儀反饋 6主動(dòng)控制偏轉(zhuǎn) 行程≤1200mm 精度±0.50um 重復(fù)定位精度±0.10um 直線度±0.50um 平面度±0.50u |
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會(huì)員級(jí)別:免費(fèi)會(huì)員 |
加入時(shí)間:2014-07-01
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