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3d光學(xué)輪廓儀測量精度
產(chǎn)品型號(hào):PO40
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價(jià)格:
折 扣 率: 0
最后更新:2022-05-11
關(guān) 注 度:2112
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀采用了光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證了高測量精度。為獲得高測量重復(fù)性,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,生產(chǎn)的隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上大部分振動(dòng),消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲。


儀器分辨率0.1μm,重復(fù)性0.1%,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,操作簡便,可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。廣泛應(yīng)用于如納米材料、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中,可以說只有3d光學(xué)輪廓儀測量精度才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級(jí)粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。


技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學(xué)3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學(xué)ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺(tái):尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動(dòng)、手動(dòng)同時(shí)具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動(dòng)
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
水平調(diào)整:±5°手動(dòng)
粗糙度RMS重復(fù)性:0.005nm
臺(tái)階高測量:準(zhǔn)確度0.3%,重復(fù)性0.08% 1σ
主要特點(diǎn):非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
注釋:更多詳細(xì)產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


中圖儀器3d光學(xué)輪廓儀測量精度高,讓輪廓測量價(jià)格變實(shí)惠,適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、臺(tái)階高度、粗糙度、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。
深圳市中圖儀器股份有限公司
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