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光學表面輪廓儀
產(chǎn)品型號:SuperView W1
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價格:
計量單位:臺
折 扣 率: 0
最后更新:2021-12-24
關(guān) 注 度:2292
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹在生產(chǎn)中,微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術(shù)性能的評價具有直接的影響,為了能反映零件表面的特征以及衡量表面的質(zhì)量,表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的額SuperView W1光學表面輪廓儀是利用白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ),用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器?梢赃_到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。

工作原理
中圖儀器的SuperView W1光學輪廓儀的測量原理是:光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。

SuperView W1光學表面輪廓儀主要用于成品的質(zhì)量管理,確保良品合格率。

產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品型號:SuperView W1系列
產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀
影像系統(tǒng):1024×1024
光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)
干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)
XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋
Z軸行程:100mm,電動
Z向掃描范圍:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可測樣品反射率:0.05%-
水平調(diào)整:±5°手動
粗糙度RMS重復性:0.005nm
臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ
主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快效率高
生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

產(chǎn)品功能
1)具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;
2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別;
3)具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能;
4)具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能;
5)具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能;
6)具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。

產(chǎn)品性能特征
1、高精度、高重復性
1)采用光學干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;
2)獨特的隔振系統(tǒng),能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性。

2、一體化操作的測量分析軟件
1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實現(xiàn)了快速批量測量的功能;
2)可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;
3)結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程;
4)幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能;
6)可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數(shù)。

3、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。

4、雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),*大限度的保護儀器,降低人為操作風險。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

中圖儀器提供SuperView W1光學表面輪廓儀讓輪廓測量價格更為實惠,適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
深圳市中圖儀器股份有限公司
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