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產(chǎn)品型號(hào):200*200
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價(jià)格:12999
計(jì)量單位:臺(tái)
折 扣 率: 0
最后更新:2014-07-02
關(guān) 注 度:4171
生產(chǎn)企業(yè):北京微納通科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹ABL3600氣浮平臺(tái) 1專為掃描顯微鏡/掩模/晶片檢測(cè)獨(dú)特應(yīng)用設(shè)計(jì) 2雙軸,大孔,開(kāi)放式結(jié)構(gòu) 3非接觸直線編碼器反饋,精度高 4雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)XY軸 5所有軸全預(yù)加負(fù)載氣浮導(dǎo)軌(空氣軸承) 行程≤250mm 精度±1um 重復(fù)定位精度±0.20um 直線度±0.50um 平面度±1um |
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會(huì)員級(jí)別:免費(fèi)會(huì)員 |
加入時(shí)間:2014-07-01
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