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布魯克光學(xué)輪廓儀NPFLEX可旋轉(zhuǎn)探頭
產(chǎn)品型號(hào):NPFLEX
產(chǎn)品代碼:
產(chǎn)品價(jià)格:
折 扣 率: 0
最后更新:2013-05-27
關(guān) 注 度:3253
生產(chǎn)企業(yè):北京華躍英泰科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹 

一、      儀器特點(diǎn):



1. 非接觸式光學(xué)測(cè)量方式,對(duì)樣品表面無損傷。



2. 測(cè)試時(shí)間短, 垂直方向上可達(dá)亞納米級(jí)分辨率。



3. 快速、準(zhǔn)確測(cè)量多個(gè)樣品 ,實(shí)現(xiàn)高速材料表面表征。



4. 廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,樣品的反射率從0.1%100%均可測(cè)量。



5. 操作非常簡單。



6. 高分辯、高速測(cè)量、高重復(fù)性、高可靠性的完美結(jié)合



7. 功能強(qiáng)大、行業(yè)領(lǐng)先的專業(yè)分析軟件:



a)   臺(tái)階高度



b)   表面粗糙度



c)   多區(qū)域測(cè)量



d)   彎曲測(cè)量



e)   角度測(cè)量



f)   厚膜分析軟件包-適用透明、半透明厚膜厚度及膜表面粗糙度分析



g)   光學(xué)軟件包-應(yīng)用于光學(xué)級(jí)表面表征



h)   數(shù)據(jù)存儲(chǔ)制造業(yè)軟件包-適用于硬盤部件的測(cè)量檢測(cè)






8. 可測(cè)量各種復(fù)雜形狀樣品。






二、      性能參數(shù)指標(biāo)介紹:



1.工作條件:



電源:220V,1500W



環(huán)境溫度:1035



環(huán)境濕度: 10%85%






2. 儀器尺寸:172cm H x 77cm D x 81cm W






3. 最大樣品尺寸:H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm






4. 最大樣品重量:50kg






5. 垂直分辨率:<0.15nm;(可測(cè)量出亞納米級(jí)的表面結(jié)構(gòu))。






6. RMS重復(fù)性:0.03nm;(在測(cè)量超光滑平面的時(shí)候,多次測(cè)量的重復(fù)性非常好)。






7. 臺(tái)階高度測(cè)量的精度:0.5%;(對(duì)高度測(cè)量的精確度可控制在0.5%以內(nèi))。






8. 臺(tái)階高度測(cè)量的重復(fù)性:<0.12% 1σ;(對(duì)高度測(cè)量的重復(fù)性可控制在0.12%以內(nèi))。






9. 光學(xué)分辨率:0.49um;(在使用50倍物鏡的情況下,可分辨的最小尺寸為0.49um)。






10.            最大掃描速度:28.1um/s;(縱向掃描的速度可達(dá)28.1um/s)。






11.            垂直方向最大掃描范圍:10mm,全量程閉環(huán)控制,無需縫合。(縱向最大的掃描長度為10mm,并且此測(cè)量為閉環(huán)控制測(cè)量,保證了測(cè)量的準(zhǔn)確性)。

北京華躍英泰科技有限公司
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