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Horiba SEC-Z512MGX質(zhì)量流量控制器
產(chǎn)品編碼:1100
計量單位:只
最后更新:2011-08-11
關(guān) 注 度:4696
生產(chǎn)企業(yè):上海進(jìn)申工貿(mào)有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹
  • 高精度:設(shè)定流量值±1.0%.
    MFC的線性精度是由多項式近似曲線進(jìn)行補(bǔ)償?shù)模?此技術(shù)保證在各控制范圍內(nèi)獲得高的控制精度. 為了改善各種實際氣體種類的控制精度, HORIBA STEC研發(fā)了標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng), 并在大量實驗的基礎(chǔ)上,采集各種制程氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)。
  • 高速響應(yīng)
    SEC-Z500X 使用了最新開發(fā)的“可更改PID”系統(tǒng),保證任意兩個設(shè)定流量點之間的更改在1秒鐘之內(nèi)完成在設(shè)定不同流量時,PID數(shù)據(jù)將進(jìn)行自動的調(diào)整,即使在氣體種類和流量范圍變更后,PID數(shù)據(jù)也能夠自動優(yōu)化,實現(xiàn)高速響應(yīng)。
  • 復(fù)合氣體、復(fù)合流量方案
    HORIBA STEC 新產(chǎn)品讓客戶輕松地在現(xiàn)場更改氣體種類和流量成為現(xiàn)實. 我們的 Z500 設(shè)置軟件簡單、易用. 更好的是, 這些變更的完成甚至不需要將MFC從系統(tǒng)拆卸下來。 如此一來,就可以很大程度上減少客戶備品的數(shù)量,同時節(jié)省了時間和成本。
上海進(jìn)申工貿(mào)有限公司
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